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特种气体系统的设计与施工

特气供气系统

大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），特种气体厂商，100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用1先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。

特种气体管道的施工

特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。

预制间的选择

特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。按照标准，特种气体价格是多少，预制作业需要在洁净度达到百级的净化间进行，作业人员也按照百级净化间的管理着装。因此对于特气项目，一般都建有一个标准的预制间。

特种气体的作用：

1、反应及中和介质，在精细化工、生物医1疗中用于反应、保护等。

2、冷冻和保鲜介质，常用液氮、二氧化碳等用于食品加工。

3、治1疗杀菌介质，氦气、氧气、氮气、激光混合气等用于医1疗设备。

4、综合手段与介质，应用于制造业的成型保护、核反应堆的保护、电光源照明行业和吹扫等。

氦质谱检漏法是使用氦质谱检漏仪的氦分压力丈量原理，兰州特种气体，完成被检件的氦走漏量丈量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，走漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。

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